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    Transpector 2 气体分析系统
     

     

     

     

     

    介 绍

    Transpector® 气体分析系统是一种 RGA,可在半导体制造业中,为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。与之相比,Transpector 2 提高了氢气灵敏度,使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余,低电平信号下的扫描速度快达四倍,动态扫描范围更为宽泛,可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据

     

     

     100-amu200-amu 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯

     提高氢气检测水平

     优异的峰值振幅和位置稳定性

     与原始 Transpector 相比,信噪比高达 10

     低电平信号下扫描速度更快

     九个数量级的电子动态量程

     针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项

     分压测量范围为 1 X 10 -4 Torr 5 X 10 -15 Torr

     

     

     

    技术参数

     

    类型

    C100F

    C100M

    H100F

    H100M

    H200F

    H200M

    H300F

    H300M

    传感器长度

    11.7 cm   

    11.7 cm 

    17.8 cm

    26.4 cm

    17.8 cm

    26.4 cm

    17.8 cm

    26.4 cm

    质量范围

    100 amu

    100 amu

    100 amu

    100 amu

    200 amu

    200 amu

    300 amu

    300 amu 

    检测器类型

    FC

    FC/EM

    FC

    FC/EM

    FC

    FC/EM

    FC

    FC/EM 

    灵敏度 (FC)   

    2E-4 A/Torr

    2E-4 A/Torr

    2E-4 A/Torr

    1E-4 A/Torr

    2E-4 A/Torr

    1E-4 A/Torr

    1E-4 A/Torr

    5E-5 A/Torr

    灵敏度 (EM)

    NA

    0.25

    NA 

    500

    NA 

    500

    NA

    250

    最小可检测分压   

    3E-13

    Torr

    3E-14

    Torr

    3E-13

    Torr

    5E-15

    Torr

    3E-13

    Torr

    5E-15

    Torr

    6E-13

    Torr

    1E-14

    Torr 

    最高传感器

    工作温度(FC)

    200°C

    200°C

    250°C

    250°C

    250°C

    250°C

    250°C

    250°C

    最高传感器

    工作温度(EM)

    NA

    150°C

    NA

    150°C

    NA

    150°C

    NA

    150°C 

    分辨率

    (整个质量范围内)

    <1 amu wide

    温度系数(2)

    <1% of peak height/°C

    零冲击(@质量2)

    <100 ppm

    最大工作压力

    5E-4 Torr

    350

    200

    200

    350

    350

    350

    350

    350

    350

    功率输入

    20-30 VDC

     

     

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