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    Quantus LP100 气体分析仪
     

     

    介 绍

     

    INFICON Quantus LP100 气体分析仪可在关键过程环境中进行实时检漏和终点检测。许多过程对泄漏都很敏感,或要求进行终点检测。Quantus LP100 是一种气体分析仪,专门用于实时应对敏感过程环境中的细微变化,以最大限度地减少报废,提高产出。

     

     

    功 能

     

     方便的现场可更换等离子单元

     使用标准 KF25 连接方便地安装

     更低的维护成本

     Excellent detection limits down to low ppm levels

     工作范围为 10 mTorr 1 Torr

     长期可靠性:无需泵

     Low cost of ownership

     快速的 10 Hz 采样频率

     Small footprint: (H x W x L) 87 x 151 x 241 mm (3.4 x 5.9 x 9.5 in.)

     有经验的现场培训 INFICON 工程师提供支持

     

     

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