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    Transpector XPR3L 气体分析系统
     

     

    介 绍

     

    用于监控过程气体和基本真空条件的工具是 Transpector ® XPR3L 气体分析系统提供的经济高效的 RGAXPR3L 提供的 PVD 过程监控解决方案可以实时提供有关过程气体压力、气体比率、污染级别、杂质和泄漏情况的信息。此信息可用于最大限度提高过程良率和产品质量。XPR3L 提供的本底监控解决方案可以通过快速检测和诊断泄漏及污染,提高预防性维护程序的有效性和效率。

     

     

     

    功 能

     

     通过运行高达 10mTorr(可选 20mTorr)的 UHV,提供经济实惠的双用功能、过程监控和基本真空保证

     经济高效的过程监控器,可用于可扩展的生产设计

     通过持续自动监控过程气体压力、气体比率和可能存在的污染或杂质,提高过程良率,减少碎片提高产品质量

     通过以高灵敏度和最小可检分压强验证基本真空条件、查找泄漏以及鉴别污染,加快 PM 恢复,提高生产力

     可在 1 - 100 amu 质量范围内运行,能够检测各种材料、污染或副产品,确保您的投资安全,降低投资风险

     与 FabGuard 监控和分析系统相兼容,提供可靠、先进的诊断和过程控制

     

     

    应 用

     

     太阳能/光伏设备制造

     LCD 制造

     PVD 过程监控

     监控过程气体压力和气体比率

     暴露和鉴别污染

     检测和查找泄漏(空气、氦气、水及其他蒸汽)

     PM 恢复/故障排除和验证基本真空灵敏度。

     

     

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