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    UL1000 氦气检漏仪
     

     

     

     

    介 绍

    INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件精确检漏的要求,灵活性测试,高灵敏度,快速于精确的结果,快速启动,移动性和系统的可靠性。

    UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子,还有I-CAL(智能化漏率计算系统),无与伦比的噪声抑制滤波,柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-1110-12超高灵敏漏率范围中长时间平衡的程序。

    系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。UL1000具有可转动的控制界面,装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。

     

     

    功 能

     15 级的宽测量范围

     较短的抽气和响应时间

     I-CAL(智能泄漏率计算法)确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间

     抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的泄漏检测结果

     含坚固耐用低真空泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比

     自保护功能可防止 UL1000 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

     自动吹扫循环可确保清理并随时可进行泄漏检测

     可通过电子邮件进行软件更新

     内置软件菜单“自动测漏”功能可执行密封组件的自动测试(可选 TC1000 测试盒)

     可选RC1000遥控器

     

     

    应 用

    所有类型组件的泄漏检测和质量控制,包括:

     汽车部件

     制冷和空调部件和配件

     密封电子装置

     换热器

     

     

    技术参数

    最低可检漏率(真空模式*

    5×10-12mbar.l/s

    最低可检漏率(吸枪模式*

    5×10-8mbar.l/s

    最大进气口压强

    粗检模式

    15 mbar

    精检模式

    2 mbar

    超精检模式

    0.4 mbar

    抽真空期间的抽速

    16-25立方米/小时

    氦气抽速

    粗检模式

    最大8 /

    精检模式

    7/

    超精检模式

    2.5/

    可检质量数

    234amu, 氢,3氦,氦

    电源电压

    110120V220240V

    重量

    110公斤(242)

    尺寸,包括手把(长×宽×高)

    1068×525×850 mm(42×21×33 in)

    *AVS2.1EN1518标准

     

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