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    Transpector HPR 气体分析系统
     

     

     

     

    介 绍

    INFICON Transpector HPR 结合了 Transpector RGA 的高性能与校准基准,成为一种适用于工具诊断和监控的自动化仪器。通过与 INFICON FabGuard 传感器集成与分析系统的强大功能相结合,Transpector HPR 具备自我监控以及在过程中监控工具是否存在误差或缺陷的功能。

     

     

    功 能

     多个 AMU 质量范围,带组合型法拉第杯/电子倍增器

     自动 EM 增益调整

     九个数量级的动态量程

     自动调整质量位置和分辨率

     可变停留时间,具有优良的信噪比

     5E-15 Torr MDPP100 AMU 型号)

     

     

     

    应 用

     各种工具模块的氦气泄漏检测

     适用于预防性维护用途的模块状况监控

     完成预防性维护之后记录数据

     增长率测量

     背景状况监控

     

     

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