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Transpector HPR 气体分析系统
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介 绍 INFICON Transpector HPR 结合了 Transpector RGA 的高性能与校准基准,成为一种适用于工具诊断和监控的自动化仪器。通过与 INFICON FabGuard 传感器集成与分析系统的强大功能相结合,Transpector HPR 具备自我监控以及在过程中监控工具是否存在误差或缺陷的功能。 |
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功 能 • 多个 AMU 质量范围,带组合型法拉第杯/电子倍增器 • 自动 EM 增益调整 • 九个数量级的动态量程 • 自动调整质量位置和分辨率 • 可变停留时间,具有优良的信噪比 • 5E-15 Torr 的 MDPP(100 AMU 型号) |
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应 用 • 各种工具模块的氦气泄漏检测 • 适用于预防性维护用途的模块状况监控 • 完成预防性维护之后记录数据 • 增长率测量 • 背景状况监控 |
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