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Transpector CPM 紧凑型过程监控器
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介 绍 INFICON Transpector® CPM 通过以下功能提供现场预警并降低成本: • 测量气相反应 • 验证真空完整性 • 鉴定痕迹量级污染物 • 测量过程和本底成分 • 检测气体纯度 INFICON CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪,适用于现场监控复杂的过程。这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术,帮助您达到新的性能水平。 |
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功 能 • 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。 • 支持 24/7 全天候监控,可最大限度地提高产量和吞吐量,从而大幅降低成本。 • 小巧灵活、经济实惠,适合安装到任何高压真空室。 • HexBlock™ 采样系统提高性能。 • 内置 CDG,支持过程压力监控和真空联锁。 • 可选校准基准(用于调节)和气体基准。 • 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染,同时耐最强的腐蚀性和活性气体。 • 轻便,易携带。 |
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