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    Transpector XPR3 气体分析系统
     

     

    介 绍

    Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题,从而最大化吞吐量和产量,也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划,从而延长工具运行时间。

    Transpector XPR3 是新一代气体分析系统,可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验,具有前所未有的灵敏度、准确性和灵活性,可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破,无需大型、复杂的压力转换设备,即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。

     

     

     

     

    功 能

     经过重新设计的离子源最大限度减少污染积存,可延长使用寿命,提供更纯净的信号。

     新 EM PVD 过程压力下工作,可实现更快速、更纯净的数据收集,消除 FC EM 过度的必要,更便于数据分析。

     更长的新型四极杆提高了低质量范围下的滤波性能,增强了丰度灵敏度,从而提高了氢气检测灵敏度。

     

     

    应 用

     PVD 过程模块

     预清洗模块

     非群集 PVD 工具

     夹钳式除气模块

     

     

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