介　绍

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的最佳真空结构，UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件，UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管。

                功　能

•　15 级的宽测量范围

•　较短的抽气和响应时间

•　I-CAL（智能泄漏率计算法）确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间

•　抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的泄漏检测结果

•　含坚固耐用低真空泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气抽气能力和高压缩比

•　自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

•　自动吹扫循环可确保清理并随时可进行泄漏检测

•　可通过电子邮件进行软件更新

•　内置软件菜单“自动测漏”功能可执行密封组件的自动测试（可选 TC1000 测试盒）  

                  应　用

•　对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持

•　需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用

•　在现有工具中安装前对部件执行检漏

•　工艺气体系统的检查和安装

•　内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

技术参数