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    UL1000 Fab 干式氦气检漏仪
     

     

    介 绍

    The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

    通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的最佳真空结构,UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

    使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管。

     

     

                    功 能

     15 级的宽测量范围

     较短的抽气和响应时间

     I-CAL(智能泄漏率计算法)确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间

     抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的泄漏检测结果

     含坚固耐用低真空泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比

     自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

     自动吹扫循环可确保清理并随时可进行泄漏检测

     可通过电子邮件进行软件更新

     内置软件菜单“自动测漏”功能可执行密封组件的自动测试(可选 TC1000 测试盒)  

     

     

                      应 用

     对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持

     需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用

     在现有工具中安装前对部件执行检漏

     工艺气体系统的检查和安装

     内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

     

     

    技术参数

    最低可检漏率(真空模式*

    5×10-12mbar.l/s

    最低可检漏率(吸枪模式*

    8×10-8mbar.l/s

    最大进气口压强

    粗检模式

    15 mbar

     

    精检模式

    2 mbar

     

    超精检模式

    0.4 mbar

    抽真空期间的抽速

     

    16-25立方米/小时

    氦气抽速

    粗检模式

    最大8 /

     

    精检模式

    7/

     

    超精检模式

    2.5/

    可检质量数

     

    234amu, 氢,3氦,氦

    电源电压

     

    110120V220240V

    重量

     

    110公斤(242

    尺寸

    包括手把(长×宽×高)

     

    1068×525×850 mm

    42×21×33 in

    *AVS2.1EN1518标准

     

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