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    Transpector MPH 残余气体分析仪

       

     

    介 绍

    INFICON Transpector MPH气体分析系统专门用于让您的系统在所有气体分析应用中都实现业内一流的性能,有助于最大限度地提高芯片产量,降低工具停工时间。

    INFICON 发挥其在气体分析过程控制设备领域的专长,制造的 RGA 拥有业内一流的数据采集速度、最低可检测分压和最小的信噪比。所有这些特性都不会牺牲 INFICON Transpector 气体分析仪一贯出色的可靠性。

     

     

     

     超快数据采集(测量时间为 1 ms

     TCP/IP 以太网连接

     双丝极

     可现场更换电子倍增器

     组合阳极、阴极和反射极丝极套件

     较短的传感器可降低安装占地面积

     

     九个数量级的动态量程

     <5E-15 Torr MDPP

     信噪比更高

     可调换传感器和电子元件

     传感器在洁净室环境中装配、测试并进行双层包装

     符合 RoHS 标准

     

     

    技术参数

     

    类型

    MPH100F

    MPH100M

    MPH200F

    MPH200M

    MPH300F

    MPH300M

    传感器长度

    14.3 cm   

    19.3 cm

    14.3 cm

    19.3 cm

    14.3 cm

    19.3 cm 

    质量范围

    100 amu

    100 amu

    200 amu

    200 amu

    300 amu

    300 amu 

    检测器类型

    FC

    FC/EM

    FC

    FC/EM

    FC

    FC/EM 

    灵敏度 (FC)   

    2E-4 A/Torr

    灵敏度 (EM)

    NA

    500 A/Torr

    NA 

    500 A/Torr

    NA

    250 A/Torr

    最小可检测分压   

    3E-13 Torr

    E-15 Torr

    3E-13 Torr   

    5E-15 Torr

    6E-13 Torr

    1E-14 Torr 

    最高传感器

    工作温度(FC)

    200°C

    200°C

    200°C

    200°C

    200°C

    200°C 

    最高传感器

    工作温度(EM)

    NA

    150°C

    NA

    150°C

    NA

    150°C 

    丝极类型选件 (1)

    Y2O3/Ir

    丝极类型选件 (2)

    Tungsten

    分辨率

    (整个质量范围内)

    <1 amu wide (3)

    温度系数 

    <1% of peak height/°C

    最小测量速度

    1 ms

    零冲击(@ 质量 2)

    <5 ppm

    <5 ppm

    <65 ppm

    <65 ppm

    <100 ppm

    <100 ppm 

    最大工作压力

    5E-4 Torr

    5E-4 Torr

    5E-4 Torr

    5E-4 Torr

    5E-4 Torr

    5E-4 Torr 

    最高烘烤温度

    ℃ ℉

    300

    300

    300

    300

    300

    300 

    功率输入

    20-30 VDC

    20-30 VDC

    20-30 VDC

    20-30 VDC

    20-30 VDC

    20-30 VDC 

     

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