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    QMG700分析型四极质谱仪
     

     

    介 绍

     

    QMG700分析型四极质谱仪是瑞士INFICON公司生产的高端四极质谱仪,可以实现在线气体的成分和含量的分析.针对用户对气体分析的不同要求,QMG700系列质谱仪提供很多不同的配置和性能.

    QMG700质谱的应用包括残余气体分析,中性气体分析,溅射气体分析,二次离子分析,等离子体的组分和能量分析等.

    QMG700质谱也可以作为OEM厂家的质谱核心部件,实现特定应用的气体分析,如气溶胶气体分析,过程气体在线分析(如炼钢过程气体分析,生化过程气体分析,呼吸气体在线检测等),超纯气体分析等.

     

     

     

     

    主要特点

     

     高档四极质谱仪

     分析型四极质谱仪

     极其稳定的质谱信号(峰位稳定,峰强稳定,峰型稳定)

     很高的信噪比

     检测极限低

     反卷积矩阵定量分析软件

    主要应用

     

     二次离子质谱仪(SIMS

     质子传输质谱仪(PTRMS

     微量恒量分析,集成高压采样系统

     MBE 分子束外延残余气体分析

     IMP等离子体刻蚀终点检测

     常压采样分析系统

     

     

     

     

    技术参数

     质量数范围:

    1-100AMU,1-128AMU,1-200AMU,1-300AMU,1-500AMU,1-1024AMU,1-2048AMU

     检测极限:最优可达5E-16mbar, 分压比最优可达<0.5ppb

     可配法拉第,倍增器,离子计数器等检测器

     

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